非接觸式太陽能矽晶圓量測儀
MX203-6-41q
♦ 非接觸式電容感應量測方式
♦ 最小刻度為0.1μm，重覆性誤差0.25μm
♦ 可測量厚度, TTV, 翹曲度Bow,Warp
♦ 支援Wafer Studio 3D顯示功能
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